ALD Modeling
Batch Processor
1
基底
2
前驱体
3
生成
晶体参数
元素符号
Miller 指数 (h,k,l)
尺寸设置
原子层数
真空层 (Å)
超胞 (Supercell)
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球棍 (Ball & Stick)
棍状 (Stick)
球状 (Sphere)
线框 (Line)
Al
Trimethylaluminum
Al(CH3)3
Precursor
Database
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